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着重介绍了高效精密加工制造技术的科学内涵、应用范围和在机械加工制造业的重要性，以及国内外研究现状与发展趋势，分析了国内在先进加工制造工艺和装备领域的基础研究中存在的主要问题和差距。
微电子和光电子制造中的节约型高效精密加工技术
【摘 要】
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着重介绍了高效精密加工制造技术的科学内涵、应用范围和在机械加工制造业的重要性，以及国内外研究现状与发展趋势，分析了国内在先进加工制造工艺和装备领域的基础研究中存在的
【机 构】
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江南大学机械工程学院,大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室
【出 处】
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江南大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2009年6期
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