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对Si- SiO2基底薄膜系统进行数值实验，将SiO2薄膜的能损函数与透过率光谱和反射椭圆偏振光谱进行对比，讨论了在红外透过率光谱和反射椭偏光谱中激发的SiO2薄膜TO和LO振动模式。在正入射的红外透过率光谱中，仅能发现SiO2薄膜的TO振动模式；在倾斜入射的s偏振透过率光谱中没有激发的LO模式；在倾斜入射的p偏振透过率光谱中，当入射角小于60°时，三个TO振动模式全部被激发；当入射角大于60°时，三个LO振动模式都被激发，而TO模式仅能激发两个。在反射椭偏光谱中，TO模式未被激发，仅能激发LO模式。在透过率光谱和反射椭偏谱中，振动频率分别具有向高波数和低波数方向频移的现象。