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介绍了一种半导体全自动滚圆开槽成形磨床的基本布局,对加工零件和机床内关键技术及主要部件做了重点说明。通过对半导体硅棒磨削工艺的研究、编辑磨削工艺和实现机床自动磨削等方法,证明了所采用的半导体全自动滚圆开槽成形磨床,用于磨削半导体硅棒外圆、OF面/V槽(notch槽)可以收到理想的效果。
半导体全自动滚圆开槽成形磨床
【摘 要】
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介绍了一种半导体全自动滚圆开槽成形磨床的基本布局,对加工零件和机床内关键技术及主要部件做了重点说明。通过对半导体硅棒磨削工艺的研究、编辑磨削工艺和实现机床自动磨
【机 构】
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淄博市淄川区工业和信息化局,青岛高测科技股份有限公司
【出 处】
：
精密制造与自动化
【发表日期】
：
2019年3期
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