【摘 要】
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我们运用光刻胶热熔成形的方法，制作了２０×２０的折射型微透镜阵列，单元透镜直径为９０μｍ，中心间隔１００μｍ。此微透镜阵列具有极好的均匀性。本文详细讨论了对此阵列的焦距、透镜的形状及面形质
【机 构】
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浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
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我们运用光刻胶热熔成形的方法，制作了２０×２０的折射型微透镜阵列，单元透镜直径为９０μｍ，中心间隔１００μｍ。此微透镜阵列具有极好的均匀性。本文详细讨论了对此阵列的焦距、透镜的形状及面形质量、波像差及点扩散函数等参数的测试方法及实验结果。实验结果表明，该微透镜阵列在０．３数值孔径下达到了衍射极限的光学性能。
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