【摘 要】
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采用单层和双层印刷法在氧化铝衬底上制备功能陶瓷厚膜用Pt电极,研究了烧结温度、升温速率和电极厚度对Pt电极层的表面形貌、表面覆盖率和表面粗糙度的影响,以揭示晶粒长大、
【机 构】
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华中科技大学电子科学与技术系教育部敏感陶瓷工程研究中心
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采用单层和双层印刷法在氧化铝衬底上制备功能陶瓷厚膜用Pt电极,研究了烧结温度、升温速率和电极厚度对Pt电极层的表面形貌、表面覆盖率和表面粗糙度的影响,以揭示晶粒长大、气孔生长及致密化机制.结果表明,在单层印刷Pt电极的烧结过程中,低温阶段残留的碳使不同温区Pt的主导扩散机制不同.双层印刷Pt电极中第一层在600℃下烧结后,印刷第二层再在1200℃下烧结具有最大表面覆盖率和最小平均粗糙度（其值约为0.82μm）,同时具有最好的导电性能（方阻为0.044Ω/□）.
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