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本文利用扫描电子显微镜与能谱仪结合(SEM/EDS),通过改变加速电压和光阑直径,成功地检测到分散在预涂层中直径约100 nm的SiO2颗粒。实验结果表明:光阑直径大小对纳米颗粒能谱分析空间分辨力的影响大于加速电压,当加速电压为5 kV,光阑直径为20μm时得到的检测结果最为合理。
SEM/EDS快速检测分散在预涂层中的纳米SiO2
【摘 要】
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本文利用扫描电子显微镜与能谱仪结合(SEM/EDS),通过改变加速电压和光阑直径,成功地检测到分散在预涂层中直径约100 nm的SiO2颗粒。实验结果表明:光阑直径大小对纳米颗粒能谱
【机 构】
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汕头大学中心实验室
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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2020年2期
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