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该文结合微操作机器人的特点,提出了一种新型的三维整体式微纳操作器,并利用有限元分析方法,对该整体式微纳操作器进行了分析,从中找出原有设计的不足,给出了解决办法以及最终的结构设计图.
整体式微纳操作器结构分析与改进
【摘 要】
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该文结合微操作机器人的特点,提出了一种新型的三维整体式微纳操作器,并利用有限元分析方法,对该整体式微纳操作器进行了分析,从中找出原有设计的不足,给出了解决办法以及最
【机 构】
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同济大学中德学院
【出 处】
：
微纳电子技术
【发表日期】
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2005年4期
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