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研究了薄膜的结构性质、光学和电学性质随薄膜厚度的变化关系.制备的ZnO:Al薄膜具有(002)面的单一择优取向的多晶六角纤锌矿结构,性能优良的薄膜电阻率为4.9×1 0-4Ω.cm,平均透射率达到了88%.
ZAO透明薄膜厚度对其导电膜性能的影响
【摘 要】
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研究了薄膜的结构性质、光学和电学性质随薄膜厚度的变化关系.制备的ZnO:Al薄膜具有(002)面的单一择优取向的多晶六角纤锌矿结构,性能优良的薄膜电阻率为4.9×1 0-4Ω.cm
【机 构】
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平顶山学院电气信息工程学院,重庆师范大学物理学与信息技术学院河南平顶山
【出 处】
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郑州大学学报(理学版)
【发表日期】
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2007年3期
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