基于MEMS技术的氧气微传感器机理研究与设计

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【摘要】

：

采用溶胶-凝胶(Sol-gel)法制备氧敏感膜,并对其不同的药品配比进行成膜质量与响应时间的测试与比较.设计一系列实验对该传感器的氧敏感机理进行研究.结合MEMS技术,设计MOSFET

【作者】

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颜黄苹冯勇建陈曦卞剑涛

【机构】

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厦门大学机电工程系,厦门大学现代分析科学教育部重点实验室

【出处】

：

仪表技术与传感器

【发表日期】

：

2003年8期

【关键词】

：

氧敏感膜微传感器 MEMS 溶胶-凝胶法设计氧气传感器 MOSFET OxygenMEMSMicro -sensor

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采用溶胶-凝胶(Sol-gel)法制备氧敏感膜,并对其不同的药品配比进行成膜质量与响应时间的测试与比较.设计一系列实验对该传感器的氧敏感机理进行研究.结合MEMS技术,设计MOSFET氧气微传感器结构,在器件中集成了加热元件和测温元件.实验结果表明:该传感器响应时间快,有较高的灵敏度,较好的重复性、选择性和稳定性.该传感器的机理研究与设计为基于MEMS技术的氧气微传感器的深入研究提供一定的参考.

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