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采用Eric W.Seelig提出的种子液法,制备了不同粒径、不同单分散性的ZnO微球颗粒。采用垂直沉积法制备了不同样品的ZnO薄膜。采用SEM测试了样品的微观形貌,结果表明,在反应中加入种子液量越多,所得ZnO颗粒平均粒径越小;种子液离心时间越长,制备得到的ZnO颗粒粒径越大。本文还进一步讨论了三口烧瓶容器内所进行的化学反应过程以及ZnO微球颗粒生成的化学机理,对比分析了二水醋酸锌添加量对ZnO颗粒形状的影响。