【摘 要】
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采用电阻法研究溅射ＴｉＮｉ薄膜的热处理效应．实验结果表明，溅射ＴｉＮｉ薄膜的热循环效应与块状ＴｉＮｉ合金相比有所不同，随热循环次数增加，ＴｉＮｉ薄膜的马氏体相变点Ｍｓ显著升高；Ｒ－Ｔ曲线的形状发生改变；但Ｍｆ，Ａｓ，Ａｆ，ＴＲ和Ｔ′Ｒ保持不
【机 构】
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吉林大学材料科学系,吉林工学院材料系
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采用电阻法研究溅射ＴｉＮｉ薄膜的热处理效应．实验结果表明，溅射ＴｉＮｉ薄膜的热循环效应与块状ＴｉＮｉ合金相比有所不同，随热循环次数增加，ＴｉＮｉ薄膜的马氏体相变点Ｍｓ显著升高；Ｒ－Ｔ曲线的形状发生改变；但Ｍｆ，Ａｓ，Ａｆ，ＴＲ和Ｔ′Ｒ保持不变
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