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通过对微型推力室阵列和自由分子微电阻加热发动机(FMMR)设计理论和方法、工作原理及微细加工的论述,介绍了微型推进技术概念、应用、设计、加工、试验以及微电子机械系统(MEMS)技术。
微型推进与MEMS技术
【摘 要】
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通过对微型推力室阵列和自由分子微电阻加热发动机(FMMR)设计理论和方法、工作原理及微细加工的论述,介绍了微型推进技术概念、应用、设计、加工、试验以及微电子机械系统(ME
【机 构】
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航天科技集团公司第六研究院十一所
【出 处】
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火箭推进
【发表日期】
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2002年3期
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