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制作超声微流混合器,该混合器混合腔直径6mm,深60μm,振动膜厚和压电层厚210μm,测量辅助立管高度2cm。计算该混合器不同的振动模态,利用粒子图像技术测量实际振动模态图和流场图,分析模态计算结果与试验的误差原因。试验结果表明,混合器在超声激励下腔体内存在平面旋状结构;环流边界处有明显地微粒汇聚现象;一阶模态振动会产生净压差。最后得到压差的高度与压电驱动电压的近似关系。