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高频磁场等离子工艺可以生产纯度高、羟基含量低的高品质石英玻璃产品。本文针对高频磁场等离子工艺的核心设备等离子发生系统进行理论分析和实践总结,得出了有效改善等离子发生系统阻抗匹配状况的方法,对提升等离子发生系统的工作效率和改善石英产品品质有一定帮助。
高频磁场等离子发生系统的阻抗匹配特性研究
【摘 要】
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高频磁场等离子工艺可以生产纯度高、羟基含量低的高品质石英玻璃产品。本文针对高频磁场等离子工艺的核心设备等离子发生系统进行理论分析和实践总结,得出了有效改善等离子
【机 构】
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久智光电子材料科技有限公司
【出 处】
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电子世界
【发表日期】
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2016年16期
【基金项目】
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河北省重大科技成果转化项目（项目编号：14041101Z）资助
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