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本文通过计算SiO2单层以及SiO2和Si3N4组成的双层减反膜对不同波长的反射率,给出了位敏探测器表面反射损耗的优化.
位敏探测器表面反射损耗的优化
【摘 要】
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本文通过计算SiO2单层以及SiO2和Si3N4组成的双层减反膜对不同波长的反射率,给出了位敏探测器表面反射损耗的优化.
【机 构】
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浙江大学物理系
【出 处】
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光电子技术
【发表日期】
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2001年3期
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