基于LaB6的新型高分辨X射线显微技术开发进展

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当前的微焦点X射线显微系统分辨率已高达1微米级别,但是仍满足不了集成电路工业高端检测需求。国外近年来出现了一种基于LaB6热阴极的新型X射线显微镜,分辨率可达0.4mm,成像质量大为提高。本文系统分析了该显微镜的设计原理,并对其未来发展趋势进行了预测。
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