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本文针对氧化物薄膜晶体管在工业应用过程中的退火温度较高、性能不足等问题,提出了双有源层氧化物薄膜晶体管的解决方案.在液晶显示、平板显示行业起到有效的指导作用.如本课题在工业中得到实现,将有效提高我国平板显示领域的生产力与竞争力,为我国的平板显示事业做出突出贡献.
退火对双有源层TFT性能的影响
【摘 要】
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本文针对氧化物薄膜晶体管在工业应用过程中的退火温度较高、性能不足等问题,提出了双有源层氧化物薄膜晶体管的解决方案.在液晶显示、平板显示行业起到有效的指导作用.如本
【机 构】
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北京交通大学
【出 处】
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中国科技信息
【发表日期】
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2018年12期
【基金项目】
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国家自然科学基金(51772019,51372016)资助项目
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