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对磷烷的合成、净化等方法进行了详细的介绍,指出随着IC制造业的发展,传统的磷烷净化工艺已成为历史,新的净化方法在原理上同以往的工艺有着本质的区别。吸附—低温精馏—超纯终端净化联合工艺是当今磷烷生产的发展方向,指出了我国未来几年电子气体净化需要克服的技术“瓶颈”。
高纯磷烷的规模化生产
【摘 要】
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对磷烷的合成、净化等方法进行了详细的介绍,指出随着IC制造业的发展,传统的磷烷净化工艺已成为历史,新的净化方法在原理上同以往的工艺有着本质的区别。吸附—低温精馏—超
【机 构】
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光明化工研究设计院
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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2006年01期
【基金项目】
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国家资金支持研究项目
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