【摘 要】
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现在国外商用ZYGO干涉仪可提供一些基于ISO10110-5的面形评价参数,而国内的自制干涉仪还 没有这项功能。IS010110-5中提出这些面形评价参数的计算可以通过波面分解的方法实现。运 用Gram-Schmidt最小二乘法拟合得到Zernike多项式系数,再从包含被测信息的原始波面中依次减 去各种表面面形偏差,就可实现对这些参数的定量分析。通过与ZYGO干涉仪的输出对比,验证了自 编拟合程序所得数据的有效性,而通过波面分解得到的各种干涉图也有益于光学加工者分析偏差 原因和器件应用后果。
【机 构】
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解放军理工大学通信工程学院,江苏南京210007江苏有线南京分公司播控中心,江苏南京210001南京理工大学电光学院,江苏南京210094
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现在国外商用ZYGO干涉仪可提供一些基于ISO10110-5的面形评价参数,而国内的自制干涉仪还 没有这项功能。IS010110-5中提出这些面形评价参数的计算可以通过波面分解的方法实现。运 用Gram-Schmidt最小二乘法拟合得到Zernike多项式系数,再从包含被测信息的原始波面中依次减 去各种表面面形偏差,就可实现对这些参数的定量分析。通过与ZYGO干涉仪的输出对比,验证了自 编拟合程序所得数据的有效性,而通过波面分解得到的各种干涉图也有益于光学加工者分析偏差 原因和器件应用后果。
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