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过去一直采用平行光管来加工和检验大相对孔径凹非球面的方法，存在许多不足之处，如加工精度不高和加工周期长等。现在我们采用补偿法，则可以在较短的时间内获得高精度的凹非球面，其精度可达λ/10～λ/20(rms)。经过长期的实践，已充分证明了这种方法是可行的。
大相对孔径凹非球面镜的加工
【摘 要】
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过去一直采用平行光管来加工和检验大相对孔径凹非球面的方法，存在许多不足之处，如加工精度不高和加工周期长等。现在我们采用补偿法，则可以在较短的时间内获得高精度的凹非球面
【机 构】
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中国科学院安徽光学精密机械研究所
【出 处】
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量子电子学报
【发表日期】
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2001年1期
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