【摘 要】
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对Ti6A14v合金进行温度范围从100℃到600℃,注入剂量为4×1017ions.cm-2氮离子等离子体源离子注入(N-PSII).用俄歇能谱仪(AEs)对注入样品进行元素深度分布剖面分析.用显
【机 构】
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电子科技大学,四川大学医学中心,西南物理研究院
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对Ti6A14v合金进行温度范围从100℃到600℃,注入剂量为4×1017ions.cm-2氮离子等离子体源离子注入(N-PSII).用俄歇能谱仪(AEs)对注入样品进行元素深度分布剖面分析.用显微硬度计及针盘磨损试验机测试表面改性的效果.利用X射线衍射(XRD)分析表面改性层结构的变化.利用光学显微镜观察磨痕宽度.分析发现,当温度从100℃升到600℃时,注入层厚度明显增加.其中,高温注入时获得较高的表面硬度和较好抗磨损性.XRD分析发现,随温度升高注入层表面形成TiN和Ti2N析出相.
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