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利用所建立的鞘层区离子速度分布函数，得出了鞘层区离子平均能量、平均速度、和通量以及高能中性粒子通量和能量通量等数学模型。计算了包括离子和高能中性粒子的刻蚀速率，结果表明与实验数据吻合。各模型都以工艺参数：压力、温度、放电电压以及反应室尺寸等参数表示，为工艺优化提供了理论依据。
平板电极间鞘层离子刻蚀速率计算
【摘 要】
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利用所建立的鞘层区离子速度分布函数，得出了鞘层区离子平均能量、平均速度、和通量以及高能中性粒子通量和能量通量等数学模型。计算了包括离子和高能中性粒子的刻蚀速率，结果
【机 构】
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华中科技大学电子科学与技术系,华中科技大学网络与计算中心
【出 处】
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中国材料科技与设备
【发表日期】
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2007年6期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（10475029）
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