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作为“第二代硅”，Ｓｉ基异质结材料为世人所嘱目，Ｓｉ基光电子器件及光电集成（ＯＥＩＣ）是当前世界范围的热门课题。本文综述Ｓｉ基异质材料的外延生长和特性、Ｓｉ基光电子器件的结构和性能及其应用，着重介绍ＳｉＧｅ／Ｓｉ的研究进展。
Si基光电子学研究进展
【摘 要】
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作为“第二代硅”，Ｓｉ基异质结材料为世人所嘱目，Ｓｉ基光电子器件及光电集成（ＯＥＩＣ）是当前世界范围的热门课题。本文综述Ｓｉ基异质材料的外延生长和特性、Ｓｉ基光电子器件的结构和性能及其应用，着重
【机 构】
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中国科学院半导体研究所
【出 处】
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半导体杂志
【发表日期】
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1998年01期
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