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为了满足高速、高精度的直线进给运动中对精度的要求,需要采取具有闭环控制定位技术的直线导轨作为功能运动部件。提出了一种基于时栅传感技术的带检测功能直线导轨,以同时实现导轨的导向功能和位移检测功能。先后开展了传感原理分析、带检导轨模型建立、模型的有限元仿真分析等工作验证了原理、方案的可行性;通过傅里叶变换对仿真结果进行误差分析,根据分析结果对模型进行优化并进行仿真验证;依据优化后的模型制作实物并搭建实验平台进行实验验证。实验结果表明,在200mm测量范围内,导轨精度可达1.25μm,该方法的实现为时栅传感技术