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给出了基于外参考干涉对准技术的对准系统的对准原理及信号处理流程。包括：基于外参考干涉对准技术的对准系统的对准原理;电子信号处理模块主要结构;信号的处理流程和算法原理,各衍射级次信号的分离方法简述等。
基于外参考干涉对准技术的对准系统信号处理方法
【摘 要】
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给出了基于外参考干涉对准技术的对准系统的对准原理及信号处理流程。包括：基于外参考干涉对准技术的对准系统的对准原理;电子信号处理模块主要结构;信号的处理流程和算法原理
【机 构】
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上海微高精密机械工程有限公司,上海微电子装备有限公司国家光刻设备研究中心
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2014年9期
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