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微透镜阵列
微透镜阵列
来源 :光机电信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:savages8850
【摘 要】
:
<正> 1.前言微透镜通常指直径从几个毫米到十微米的微小透镜。另外,把几十个微透镜规则排列起来就是微透镜阵列。微透镜制作方法有.球透镜可用研磨的方法,在多成分玻璃基板上
【出 处】
:
光机电信息
【发表日期】
:
1998年6期
【关键词】
:
S-PML
微透镜阵列
光电子元件
并列光互连
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<正> 1.前言微透镜通常指直径从几个毫米到十微米的微小透镜。另外,把几十个微透镜规则排列起来就是微透镜阵列。微透镜制作方法有.球透镜可用研磨的方法,在多成分玻璃基板上用选择性离子交换法来制作.在结晶化玻璃基板上采用光热法来制
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