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文章介绍了硅片双面研磨机及其工艺,指出单磨料桶供料系统不能连续供给研磨料。设计了双磨料桶供料系统,在硅片双面研磨机上实现了液态研磨料的连续供给。
硅片研磨机的研磨料连续供给系统设计
【摘 要】
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文章介绍了硅片双面研磨机及其工艺,指出单磨料桶供料系统不能连续供给研磨料。设计了双磨料桶供料系统,在硅片双面研磨机上实现了液态研磨料的连续供给。
【机 构】
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广州半导体材料研究所
【出 处】
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工程技术研究
【发表日期】
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2018年04期
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