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我国在直拉式单晶硅生长炉的设计和生产上还是缺乏一定的经验，从当前所使用的生长情况来看。基本都是向国外一些先进国家采购。本文通过对直拉式单晶硅进行简单介绍后，对直拉式单晶硅的两大关键技术——全自动控制系统和热场进行分析，从而希望能够为我国开发全自动的直拉式单晶硅做出一点理论参考。
直拉式单晶硅生长炉的关键技术探讨
【摘 要】
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我国在直拉式单晶硅生长炉的设计和生产上还是缺乏一定的经验，从当前所使用的生长情况来看。基本都是向国外一些先进国家采购。本文通过对直拉式单晶硅进行简单介绍后，对直拉式
【机 构】
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山西长治潞安职业技术学院基础部山
【出 处】
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化工管理
【发表日期】
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2013年6期
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