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介绍了TiAlN基多层膜的发展及其它元素对薄膜性能的影响.其中薄膜多层化及添加其它元素都是获得具有优良的结合强度、硬度、耐磨性和高温抗氧化性能薄膜的重要手段,是今后TiAlN膜的重要发展方向.
TiAlN膜层的研究进展
【摘 要】
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介绍了TiAlN基多层膜的发展及其它元素对薄膜性能的影响.其中薄膜多层化及添加其它元素都是获得具有优良的结合强度、硬度、耐磨性和高温抗氧化性能薄膜的重要手段,是今后TiA
【机 构】
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武汉科技大学
【出 处】
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工具技术
【发表日期】
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2004年10期
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