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电子级多晶硅材料作为制造集成电路和分立器件等产品的主要原料,因其国外对电子级多晶硅生产技术的封锁,导致我国电子级多晶硅长期依赖进口.本文将集中介绍电子级多晶硅在还原工序中受反应温度、压力以及惰性气体等因素对产品质量和能耗、物耗的影响.
还原过程对电子级多晶硅产品质量的影响因素
【摘 要】
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电子级多晶硅材料作为制造集成电路和分立器件等产品的主要原料,因其国外对电子级多晶硅生产技术的封锁,导致我国电子级多晶硅长期依赖进口.本文将集中介绍电子级多晶硅在还
【机 构】
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青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司,青海 西宁,810007
【出 处】
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中国化工贸易
【发表日期】
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2018年6期
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