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针对半导体制造中有滞留时间约束的集束型装备,研究了客户紧急订单、返工、新产品试制等临时晶圆到达时的在线调度问题,提出了不改变已有晶圆调度的前提下,利用资源空闲时间区间的两层在线调度方法。外层算法通过改进量子进化算法用以优化临时晶圆加工排序;内层算法在给定晶圆排序的基础上,采用后向逐级递推的策略从资源的空闲时间区间获得可行解,利用逆序最大逐级回溯策略在可行解空间获得晶圆的加工开始时间。通过不同规模测试问题上的仿真实验和算法比较,验证了提出方法的有效性。