【摘 要】
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聚合酶链式反应(PCR)在生命科学研究及诸多相关领域已经得到了广泛应用.充分利用等离子体干法刻蚀和各向异性湿法腐蚀的优点,先干法刻蚀,然后进行湿法腐蚀,可以制作出图形准
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聚合酶链式反应(PCR)在生命科学研究及诸多相关领域已经得到了广泛应用.充分利用等离子体干法刻蚀和各向异性湿法腐蚀的优点,先干法刻蚀,然后进行湿法腐蚀,可以制作出图形准确、底部致密平整、表面光滑、线条较直的PCR生物芯片微反应腔.而通过分析优化加热器材料和温度传感器的形状及尺寸,则可以满足DNA扩增反应对温度均匀性的要求.总体来看,PCR-DNA微阵列杂交集成的生物芯片在某种程度上是信息生物芯片(information-bio-chip)和功能生物芯片(function-biochip)的有机集成,但还不够完善,真正意义上的生物微系统应是功能生物芯片与信息生物芯片的进一步组合的产物.
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