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从自由电子在高频电场中的运动方程出发，研究了高频离子源的工作原理。由边界条件和电离条件推导出截止条件和最低点火电压的关系式。在此基础上编出了适于在各种气压下计算各种气体的Ｕｂ－ｆ曲线程序，作出了大量的计算结果。
高频离子源参数研究
【摘 要】
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从自由电子在高频电场中的运动方程出发，研究了高频离子源的工作原理。由边界条件和电离条件推导出截止条件和最低点火电压的关系式。在此基础上编出了适于在各种气压下计算各
【机 构】
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四川联合大学（东区）原子核科学研究所
【出 处】
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原子与分子物理学报
【发表日期】
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1996年4期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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