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溶胶-凝胶法制备BZT薄膜的介电性能研究
溶胶-凝胶法制备BZT薄膜的介电性能研究
来源 :重庆科技学院学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:bao21987
【摘 要】
:
采用溶胶-凝胶法制备了Ba(Zr0.2Ti0.8)O3薄膜(简称BZT)。通过X射线衍射测试结果可知,该BZT薄膜为钙钛矿结构且无其他杂相存在。LCR仪测试结果表明,当频率为1kHz时,薄膜具有最低的介
【作 者】
:
刘行冰
郭冬娇
张玉芹
邓小玲
【机 构】
:
重庆科技学院
【出 处】
:
重庆科技学院学报:自然科学版
【发表日期】
:
2011年5期
【关键词】
:
溶胶-凝胶
BZT薄膜
介电性能
sol-gel BZT thin films dielectric properties
【基金项目】
:
重庆科技学院大学生科技创新项目
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采用溶胶-凝胶法制备了Ba(Zr0.2Ti0.8)O3薄膜(简称BZT)。通过X射线衍射测试结果可知,该BZT薄膜为钙钛矿结构且无其他杂相存在。LCR仪测试结果表明,当频率为1kHz时,薄膜具有最低的介质损耗。
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