溶胶-凝胶法制备BZT薄膜的介电性能研究

来源 :重庆科技学院学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:bao21987
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采用溶胶-凝胶法制备了Ba(Zr0.2Ti0.8)O3薄膜(简称BZT)。通过X射线衍射测试结果可知,该BZT薄膜为钙钛矿结构且无其他杂相存在。LCR仪测试结果表明,当频率为1kHz时,薄膜具有最低的介质损耗。
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