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介绍了在ＳｉｌｖａｃｏＴＣＡＤ软件中最新加入的磷扩散模型－ＰＥＲＣＯ模型，该模型建立了杂质，空位及自间隙的连续性方程，描述了由于高浓度磷扩散引起的超平衡缺陷对磷在硅中分布的影响，已将该模型用于地实际工艺模拟的校正，取得满意的结果，同时，可以体会到模型校正的意义。
高浓度磷扩散的模拟
【摘 要】
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介绍了在ＳｉｌｖａｃｏＴＣＡＤ软件中最新加入的磷扩散模型－ＰＥＲＣＯ模型，该模型建立了杂质，空位及自间隙的连续性方程，描述了由于高浓度磷扩散引起的超平衡缺陷对磷在硅中分布的影响，已将该模型用于地实际工艺
【机 构】
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上海先进半导体制造有限公司
【出 处】
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固体电子学研究与进展
【发表日期】
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1998年3期
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