【摘 要】
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讨论了利用TSMC0.13μmCMOS工艺实现的共面波导的特性及其建模.通过Momentum等电磁场仿真软件计算了传输线的基本参数,例如特征阻抗和衰减常数.并设计了特征阻抗分别为30,50,
【机 构】
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东南大学射频与光电集成电路研究所,东南大学射频与光电集成电路研究所 南京210096,南京210096
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讨论了利用TSMC0.13μmCMOS工艺实现的共面波导的特性及其建模.通过Momentum等电磁场仿真软件计算了传输线的基本参数,例如特征阻抗和衰减常数.并设计了特征阻抗分别为30,50,70和100Ω的共面波导传输线元件库.最后,在0.1～40GHz的范围内利用网络分析仪和SOLT(short open load thru)测试技术测得特征阻抗和衰减常数,共面波导的分布参数则通过提取测试得到的S参数得到.
The characteristics and modeling of coplanar waveguide fabricated by TSMC0.13μm CMOS process are discussed.The basic parameters of transmission line such as characteristic impedance and decay constant are calculated by electromagnetic field simulation software such as Momentum.The characteristic impedances are designed as 30,50, 70 and 100Ω coplanar waveguide transmission line component library.Finally, the characteristic impedance and the decay constant were measured in the range of 0.1 ~ 40GHz by the network analyzer and SOLT (short open load thru) Extract the S parameters obtained by the test.
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