【摘 要】
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为优化铜导体浆料配方以提高烧结铜膜性能,采用组成和含量不同的玻璃粉配制铜浆,将其印在Al2O3基片表面并在850℃烧结后得到铜膜,考察玻璃粉对铜膜导电性与附着力等性能的影
【机 构】
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昆明理工大学材料科学与工程学院昆明650093昆明贵信凯科技有限公司昆明650093昆明理工大学理学院昆明650093
【出 处】
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中国电子学会敏感技术分会电压敏专业学部第二十三届学术年会
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为优化铜导体浆料配方以提高烧结铜膜性能,采用组成和含量不同的玻璃粉配制铜浆,将其印在Al2O3基片表面并在850℃烧结后得到铜膜,考察玻璃粉对铜膜导电性与附着力等性能的影响.采用四探针法测定铜膜方阻,拉力试验机测定铜膜附着力.采用金相显微镜、X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)以及热重分析仪(TGA)对铜膜显微组织、物相、形貌以及玻璃粉物理化学性质进行表征.结果表明,组成为SiO2-B2O3-ZnO的G3玻璃粉,玻璃性能良好且具有合适的转变温度,制得铜膜试样表面平整,微观组织致密,导电性好.当G3玻璃粉含量为4.8％(wt％)时,铜膜方阻为9.5mΩ/口,其与Al2O3基体间附着力为24N/mm2,可以满足微电子工业要求.
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