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本文提出一种VDMOS全热程的电模型,给出用电网络法计算包含有源区、衬底、支座和热沉在内的全热程温度分布。同时在稳态非等温条件下求解一组包括热导方程、泊松方程和连续性方程的偏微分方程组。两种方法所获得的有源区温度分布符合很好。
VDMOS全热程的温度分布
【摘 要】
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本文提出一种VDMOS全热程的电模型,给出用电网络法计算包含有源区、衬底、支座和热沉在内的全热程温度分布。同时在稳态非等温条件下求解一组包括热导方程、泊松方程和连续性
【机 构】
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UnivofElectronicScienceand
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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1990年6期
【基金项目】
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国家“七五”重点攻关项目
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