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文章介绍了以单片和两台步进电机组成的脉冲固体激光掩膜微加工扫描控制系统；包括系统的硬件设计和软件设计。根据掩膜加工的控制要求和80C196KC的特点，并结合程序流程图，对系统软件设计给出了详细说明。
掩膜微加工激光扫描单片机控制系统
【摘 要】
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文章介绍了以单片和两台步进电机组成的脉冲固体激光掩膜微加工扫描控制系统；包括系统的硬件设计和软件设计。根据掩膜加工的控制要求和80C196KC的特点，并结合程序流程图，对系统
【机 构】
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吉林大学材料科学与工程学院
【出 处】
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激光杂志
【发表日期】
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2009年5期
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