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集成电路产业对国民经济的发展起着＂倍增器＂的作用,集成电路芯片的加工生产工艺流程比较复杂,污染因子多,环境问题突出.笔者详细分析了典型芯片制造厂污染物的产生及应采取的环保治理措施,对于芯片生产排放的半导体特殊气体,目前我国尚无排放标准,提出了参照执行技术引进国的有关标准.
集成电路芯片生产的环境保护
【摘 要】
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集成电路产业对国民经济的发展起着＂倍增器＂的作用,集成电路芯片的加工生产工艺流程比较复杂,污染因子多,环境问题突出.笔者详细分析了典型芯片制造厂污染物的产生及应采取的环
【机 构】
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北京科技大学,信息产业电子第十一设计研究院,国家环境保护总局环境工程评估中心
【出 处】
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环境保护科学
【发表日期】
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2006年3期
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