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本文介绍一种检测绝缘薄膜缺陷的简易而有效的方法——液晶测量法,并针对交流薄膜电致发光(ACTFEL)器件中常用的几种绝缘薄膜作检测与分析。
用液晶检测绝缘薄膜的缺陷
【摘 要】
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本文介绍一种检测绝缘薄膜缺陷的简易而有效的方法——液晶测量法,并针对交流薄膜电致发光(ACTFEL)器件中常用的几种绝缘薄膜作检测与分析。
【机 构】
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南京电子器件研究所
【出 处】
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光电子技术
【发表日期】
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1991年3期
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