【摘 要】
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对于直径在0.5毫米以下的孔称为微孔,目前市场上还没有一种对微孔尺寸和形状进行快速而准确测量的装置。运用夫琅和费衍射原理,使平行的HeNe激光束通过-被测的微孔,在透镜的
【机 构】
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湖北工学院,湖北工学院,湖北工学院 430066,430066,430066
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对于直径在0.5毫米以下的孔称为微孔,目前市场上还没有一种对微孔尺寸和形状进行快速而准确测量的装置。运用夫琅和费衍射原理,使平行的HeNe激光束通过-被测的微孔,在透镜的焦平面上产生一组同心的衍射光环,由光电转换器件接收,经单片机对
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