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本文介绍采用密闭热系统拉晶工艺拉制单晶的情况。试验表明，密闭拉晶不仅有利于减少电耗和氩气消耗，而且可有效地降低硅单晶的氧含量和热氧化层错密度。文中还对密闭系统的材料、形状、放置及作用作了具体描述。
密闭热系统中拉制硅单晶
【摘 要】
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本文介绍采用密闭热系统拉晶工艺拉制单晶的情况。试验表明，密闭拉晶不仅有利于减少电耗和氩气消耗，而且可有效地降低硅单晶的氧含量和热氧化层错密度。文中还对密闭系统的材料
【机 构】
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上海硅材料厂
【出 处】
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上海有色金属
【发表日期】
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1998年3期
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