SnO2透明电热膜成膜研究

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研究了在化学喷射法制备SnO2透明电热膜中,掺杂浓度、反应温度、退炎工艺及喷射参数对电热膜光电性能的影响。结果表明在400 ̄600℃、Sb^3+掺杂浓度在0.1% ̄0.4%之间,可获得透光率〉85%,面电阻100 ̄150Ω的SnO2透明电热膜。
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