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采用X射线荧光能谱仪,分别测量基底元素的强度,以求得金薄膜和镀层的厚度。用镀金片检验,当薄膜和镀层厚度t【3.0μm时,测量偏差【0.10μm,方法简便,可方便地用于镀层厚度的控制生产中。
X射线荧光法测量金薄膜和镀层的厚度
【摘 要】
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采用X射线荧光能谱仪,分别测量基底元素的强度,以求得金薄膜和镀层的厚度。用镀金片检验,当薄膜和镀层厚度t【3.0μm时,测量偏差【0.10μm,方法简便,可方便地用于镀层厚度的
【机 构】
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福建省测试技术研究福州350003
【出 处】
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福建分析测试
【发表日期】
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2000年2期
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