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本文采用相对灵敏度因子法，对硅中氯含量的SIMS定量分析方法进行研究．通过运用改变一次束扫描面积的方法，氮的检测限可达到2．0×10^4atoms／cm^3,比常规测试能力提高一个量级。
硅中氮的二次离子质谱(SIMS)定量分析
【摘 要】
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本文采用相对灵敏度因子法，对硅中氯含量的SIMS定量分析方法进行研究．通过运用改变一次束扫描面积的方法，氮的检测限可达到2．0×10^4atoms／cm^3,比常规测试能力提高一个量级。
【机 构】
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电子材料研究所
【出 处】
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现代仪器
【发表日期】
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2011年3期
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