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采用酒精和氢气的混合气体为工作气体，在不同的酒精浓度下（１０％，１５％，２０％）下利用微波等离子体化学气相沉积法在较低温度下（４５０￣５００℃）以单晶硅为衬底制备出类金刚石薄膜样品。Ｒａｍａｎ光谱分析了酒精浓度对薄膜中金刚石成分的含量影响。经外光谱分析表明薄膜的红外光透过率与薄膜的表面形貌、薄膜结构有关。酒精浓度为１０％时得到的金刚石薄膜的红外光透过率最高，达到６２￣７２％，同时透过率曲线因薄膜干