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讨论了来源于半导体器件行业的废弃电子级硅片的回收处理工艺。首先对不同样品进行分类，然后对硅片表面金属杂质层进行喷砂或化学腐蚀处理；并对样品进行了扫描电镜（SEM）、电学性能和痕量杂质元素方面的测试和分析。结果表明使用该方法回收处理废弃硅片切实可行，并能有效地节约利用高纯硅材料，对当前供不应求的太阳能级硅材料起到一定的补充作用。