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克服了真空石墨电弧沉积过程中的一些观点，成功地利用真空阴极电弧沉积法制备了类金刚石膜，并对其表面形貌，硬度及结合强度，结构进行了分析，结果表明，真空阴极电弧沉积法是制备综合性能良好的光亮类金刚石膜的有效方法。类金刚石膜为非晶结构，具有明显的ｓｐ＾３结构特征。
真空阴极电弧沉积法沉积类金刚石膜的研究
【摘 要】
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克服了真空石墨电弧沉积过程中的一些观点，成功地利用真空阴极电弧沉积法制备了类金刚石膜，并对其表面形貌，硬度及结合强度，结构进行了分析，结果表明，真空阴极电弧沉积法是制备综合
【机 构】
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广州有色金属研究院
【出 处】
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广东有色金属学报
【发表日期】
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1997年2期
【基金项目】
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中国有色金属工业总公司高新技术课题
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