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综述了体积为毫米或微米级的新型微电机,包括静电式(摆动式、谐波式、线性式、旋转式和集成式)、准静态感应式和谐振式,介绍了这类微电机的结构原理和发展动向。
新一代微型电动机的发展
【摘 要】
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综述了体积为毫米或微米级的新型微电机,包括静电式(摆动式、谐波式、线性式、旋转式和集成式)、准静态感应式和谐振式,介绍了这类微电机的结构原理和发展动向。
【机 构】
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北京市第三城市建设工程公司
【出 处】
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自动化仪表
【发表日期】
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1991年8期
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